Готра З. Ю. Технологія електронної техніки

621.382(075.8)
Г74
Готра З. Ю. Технологія електронної техніки : навч. посіб. : у 2 т. / З. Ю. Готра. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. –

Т. 1. – 886 с.
Т. 2. – 881 c.

Описано основні технологічні процеси електронної техніки: вирощування монокристалів, механічної, фізико-хімічної обробки матеріалів та напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки. Описана технологія фото-, електронно-, рентгенолітографії, тонких, товстих плівок, створення наноструктур, а також монтаж та герметизація. Висвітлено методи отримання вакууму та котролю в технології електронної техніки.
Рекомендований для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом «Електроніка».

Напишіть відгук